真空超声波清洗机采用真空发生器等真空脱气装置可将各类清洗剂中的残存溶氧量降到2mg/L以下，经过真空脱气处理后的清洗剂用于超声波清洗的效率提高，对形状复杂、孔隙细小的清洗效果明显。

分体式工业超声波清洗机是采用超声波发生器和超声波清洗槽分体机构，使用方便、易于保养。